15658382118
产品详情

YWCVD-6 MPCVD设备

规格
产品详情

YWCVD-6系列6kW-10KW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备是一台高配置、多用途、高稳定中等压强微波等离子体(MPCVD)综合加工设备。它适用于单晶和多晶金刚石膜片的化学气相沉积(CVD);材料表面处理和改性;低温氧化物的生长等高新科技领域。可供钻石生产的基台为2inch,其自带的360°自动旋转功能可以更均衡地生长产品。


微信图片_20240607143055.jpg微信图片_20240607144059.jpg微信图片_20240530100701.jpg微信图片_20240530100650.jpg微信图片_20240530100658.jpg


项目名称

型号

配置

数量

(套\件)

备注

全自动控制系统

Fully   automatic control system


压、温度、功率自动匹配

Automatic   matching of air pressure, temperature and power

1

YUANWEN

微波电源Microwave power   supply

6KW

微波控制电源

微波发生器Microwave control power supply

Microwave generator

1

YUANWEN

微波传输系统及腔体Microwave transmission   system and cavity


波导、圆形腔体Waveguide, circular cavity

1

YUANWEN

模式变换器mode converter


BJ26

1

YUANWEN

工作基台Working base

直径6CM

Diameter 6CM

水冷却、

电动升降、

电动连续原位旋转 360度

Water cooling,

Electric lift,

Electric continuous in situ rotation   360 degrees

1

YUANWEN

5路气体流量控制系统

5-way gas   flow control system

选5路(流量可以定制)

Select 5 channels (traffic can be   customized)

500SCCM   H2

60sccm N2

60sccm CH4

60sccm O2

60sccm Ar

5

日本或美国

(流量计数值可能有调整)Japan or United States

(Flowmeter value may be adjusted)

真空及气体管路Vacuum and gas lines


混气罐、波纹管等Mixing   tank, bellows, etc

1

YUANWEN

直连机械泵Directly   connected mechanical pump

RVP-36

6L/S

1

YUANWEN

薄膜计Membrane meter

MPS-2050C/D

量程10Pa—99kPa

1

YUANWEN

真空计vacuum gauge

皮拉尼

10-1---10-9 Pa

1

英富康America

基片红外测温Substrate   infrared temperature measurement

IRTP600DL

高精度激光红外测温仪High precision laser infrared thermometer

Temperature measurement range 150-1200   degrees

1

YUANWEN

屏幕screen

14 寸液晶屏


1

KUNLUN

软件software


自动化控制软件,内置白色钻石生长配方。Automatic control software, built-in white diamond growth formula.


YUANWEN


可按需定制






0510-83592397
156 5838 2118

售后服务


发送电子邮件


常见问题解答


预约钻石咨询服务


珠宝保养

商业合作


成为经销商


媒体合作


常见问题

关于我们


公司简介


品牌故事


人才招聘


联系我们