YWCVD-6系列6kW/10KW/15KW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备是一台高配置、多用途、高稳定中等压强微波等离子体(MPCVD)综合加工设备。它适用于单晶和多晶金刚石膜片的化学气相沉积(CVD);材料表面处理和改性;低温氧化物的生长等高新科技领域。其自带的360°自动旋转功能可以更均衡地生长产品。
YWCVD-6科研版相对于常规版,增加了如下配置:
可加分子泵
腔体可分两路
可选6路气体
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